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10mm 三维扫描振镜 ZB3D10A355

● 一体化设计
高度集成了高端二维扫描振镜、高速动态调焦单元、光学镜片组、后聚焦F-theta场镜等，结构紧凑稳定、光路精准、密封性好、外观精致，安装便捷。

● 高稳定
采用金属密封屏蔽结构和多级抗干扰保护电路，具有较强的抗干扰能力。

● 高精度
采用先进闭环PID算法，16位控制分辨率，控制精度高，加工效果精细。

● 高线性
采用独特的线性度补偿技术,在整个三维标刻空间范围内具有良好的线性度。

● 低温漂
采用高精度光电传感器技术及先进的温漂自动补偿技术，具有极小的零点温漂、增益温漂和长期工作温漂。
+86 13697422619
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产品信息


技术参数


入射光斑

<8mm

测距范围/精度(mm)

10/0.01 | 70/0.1 | 160/0.2

扫描角度

±0.35rad

高度落差

≤±20mm，@F163场镜

≤±25mm，@F254场镜

线性度

>99.9%

X/Y轴追踪时间

0.24ms

标记速度

<6000mm/s

定位速度

<10000mm/s

X/Y重复精度(RMS)

<2urad

Z轴重复定位精度

<1um

X/Y轴长时间漂移 (30分钟预热后)

<0.1mrad

Z轴长时间漂移 (30分钟预热后)

<5um

供电电源

±15V/10A

输入信号协议

XY2-100

镜片反射波长

1064nm

工作温度

25±10(℃)

重量(g)

3460

外形尺寸LWH (mm)

230x108x116