
















技术参数 | |
系统输入光斑 | 7-9mm |
通光孔径 | 30 mm |
扫描角度 | ±0.35 rad |
非线性度 | <0.5 mrad |
常规追踪误差时间 | 0.55 ms |
全量程的1%[ms] | 1.1ms |
重复定位精度(RMS) | <4 urad |
增益漂移 | <100 ppm/K |
零点漂移 | <50 urad/K |
8 小时工作漂移(30 分钟预热后) | <0.3 mrad |
标记速度 | <3000mm/s |
定位速度 | <6000mm/s |
供电电源 | ±15 VDC |
输入信号 | Max.10A |
数字输入 | XY2-100 |
模拟输入 | ±5V |
工作温度 | 25±10℃ |